ファイファーバキューム社真空ポンプ

弊社は、真空ポンプのメーカーである、ファイファーバキューム社製品を北海道で専門に扱っています。
国際的に性能の高い、ターボ分子ポンプをはじめ、ロータリーポンプやスクロールポンプなどを
トータルコンポーネントとして提案もできる代理店として卸売り販売を行っております。

真空装置の販売について

ターボ分子ポンプや、ドライポンプを組合わせた真空装置を販売も致しています。
極限環境を求められる分野は、専門領域です。極高真空と極低温を組合わせた装置。超高熱と高真空を組合わせた装置。どちらにも適合した、真空ポンプ(排気システム)をご提案します。

また、Hi Cube という低価格な高真空排気セットも通常ラインとは別にカスタマイズも出来ます。
ファイファーバキューム社は特にターボ分子ポンプの性能で世界一の性能を持っており、ロータリーポンプでは、マグネットカップリングを採用した油漏れが無いものを世界に先駆けて製作しています。
真空システムを熟知した弊社だからこそ世界トップレベルのシステムが提案できます。

2017年度予算申請用リーフレットを発行いたしました。
北海道のユーザの方へのご紹介です。

真空ポンプおよび各種製品のご紹介

HiPace 300Hの新発売

HiPace 300H

Hipace 300Hは、特にN2の圧縮比が1E+13、水素で1E+7 と、他社を寄せ付けないスペックです。
高真空を求められる方へは、ベストな製品です。
特別にコントローラー 空冷ファンなどフルセットでキャンペーンも行っております。

ターボ分子ポンプ

HiPace シリーズはターボ分子ポンプの世界最高品質です。ケミカル型も在り、排気する気体に合わせて設定が可能で、設定方向が自在です。また、磁気浮上型の「HiPace M型」もありラインナップが揃っています。水素やヘリウムに対して特に高圧縮比を用いた「HiPace H型」モデルも在ります。

軸受型(セラミックボールベアリング)

  • ・複合型ターボ分子ポンプ
  • ・業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
  • ・取り付け姿勢自由
  • ・各種規格に対応:RoHS、CE、UL(1部)、Semi
  • ・防塵、防水規格IP54適合
▼ 軸受型 製品仕様
標準仕様
機種 ドライブ
回路
口径 排気速度
N2(l/s)
排気速度
H2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比H2 最大
許容背圧
(Pa)
取付姿勢
HiPace
10
TC110 25KF/
NW25
10 3.7 5.0×10-3
*1
3.0×106 3.0×102 2500 自在
HiPace
80
40KF/
NW40
35 38 <1.0×10-5
*1
>1.0×1011 1.4×105 2200
63ISO-K 67 48 <5.0×10-8
*2*3
63CF/
ICF114
HiPace
300
100ISO-K
100CF/
ICF152
100ISO-F
260 220 9.0×105 1500
TC400 2000
HiPace
400
370 460 4.0×105 1400
HiPace
700
160ISO-K
160CF/
ICF203
160ISO-F
680 580
HiPace
1200
TC1200 200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F
1250 1100 <1.0×10-5 1.0×108 6.0×103 200 水平
or
逆水平
HiPace
1500
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1450 1150
HiPace
1800
200ISO-K
200ISO-F
1450 1700 2.0×104 180
HiPace
2300
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1900 1850
*1: ベーキングなし
*2: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨
耐腐食性仕様
機種 ドライブ
回路
口径 排気速度
N2(l/s)
排気速度
H2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比H2 最大
許容背圧
(Pa)
取付姿勢
HiPace
300C
TC400 100ISO-K
100CF/
ICF152
100ISO-F
245 125 <1.0×10-5 1.0×106 3.0×102 100 水平
or
逆水平
Hipace
1200C
TC1200 200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F
1250 1100 <1.0×10-5 >1.0×108 6.0×103 200
HiPace
1500C
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1450 1150
HiPace
1800C
200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F
1450 1700 2.0×104 180
HiPace
2300C
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1900 1850
水冷仕様推奨

磁気浮上型

  • ・五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
  • ・メンテナンスフリー、オイルフリー
  • ・取付け方向自由、低振動、低ノイズ
  • ・業界トップクラスの圧縮比
▼ 磁気浮上型 製品仕様
機種 ドライブ回路 口径 排気速度
N2(1/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比
H2
最大
排気圧力
(Pa)
取付姿勢
HiPace
300M
TC700 100ISO-K 255 <5×10-8 1×1011 5×104 2000 自在
100CF/
ICF152
100ISO-F
HIPace
700M
TC700 160ISO-K 685 1×1011 2×104 800 自在
160CF/
ICF203
160ISO-F
HiPace
800M
TC700 200ISO-K 790 1×1010 2×104 800 自在
200CF/
ICF253
200ISO-F
<共通>

大排気量用途

ATH-Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。

▼ 大排気量用途 製品仕様
機種 口径 排気速度
N2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比
N2
最大ガス
流量
N2(sccm)*
最大
排気圧力
(Pa)
取付姿勢
ATH500M DN100 350 <1×10-6 2×107 2×102 4000 260 自在
DN160 550
ATH500MT DN100 350
DN160 550
ATH1603M DN200 1360 <6×10-7 >1×108 5×102 4000 170
DN250 1400
ATH
1600MT
DN200 1360 220
DN250 1400
ATH2303M DN250 2150 <6×10-7 >1×108 >1×103 4000 290
ATH
2300MT
DN200 1550 >2×103 280
DN250 2150
ATH2800M DN250
VG250
2200 <6×10-7 >1×108 >2×103 5000 210
ATH
2800MT
ATH
3200M
DN320
VG350
2800 <6×10-7 >1×108 >2×103 5000 210
ATH
3200MT
*環境温度、水量、水温など外部状況による

軽ガス排気用途

業界トップクラスの圧縮比

▼ 軽ガス排気用途 製品仕様
機種 口径 排気速度
N2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比
H2
最大ガス
流量
N2(sccm)*
最大
排気圧力
(Pa)
取付姿勢
ATP2300M DN200 1250 <4×10-7 >1×108 >7×1003 2200 210 自在
DN250 1750
*環境温度、水量、水温など外部状況による

ターボ分子ポンプ排気システム

ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプ排気システムの特徴

  • ・大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績
  • ・業界トップレベルの基本性能 → 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
  • ・ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
  • ・付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社製真空計モニタリング可能
  • ・アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) → 面倒な配線作業などが不要
  • ・ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
  • ・ユニットからターボ分子ポンプの切り離しが可能(オプション) ⇒ 真空引き時間の短縮
ハイキューブ エコ
  • ・卓上設置可能なコンパクト設計
  • ・持ち運び可能な軽量設計
  • ・ワンタッチで高真空まで排気可能
  • ・真空計(アクティブライン)の接続、表示可能
    *真空計の表示部を測定子のみで独立なくとも表示が可能/単位(hPa)
▼ ハイキューブ エコ 製品仕様
機種 Hi Cube 80 Eco
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40ISO-KF
(NW40)
63ISO-K 63CF
(ICF114)
排気速度 N2 l/s 35 67
到達圧 Pa <1.0×10-5 *1 < 1.0×10-6 *2 *3
ダイアフラム
ポンプ
MVP015-2 l/min 15
*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨
ハイキューブ クラシック
  • ・自動ベントバルブ標準装備
  • ・キャスター付仕様 → 移動が簡単
  • ・ターボ分子ポンプ & 粗排気ポンプ (油回転ポンプ or ダイアフラムポンプ)を、自由に組合せ可能
  • ・フォアバキュームバルブ追加可能
▼ ハイキューブ クラシック 製品仕様
機種 HiCube™ 80 classic HiCube™ 300 classic HiCube™ 400 classic HiCube™ 700 classic
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40
ISO-KF
(NW40)
63
ISO-K
63CF
(ICF114)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
160
ISO-K
160CF
(ICF203)
排気速度 N2 l/s 35 67 260 355 685
到達圧 油回転
ポンプ
Pa < 1.0×10-5 *1 < 5.0×10-8 *2 *3
ダイア
フラム
ポンプ
< 1.0×10-6 *2 *3
ダイアフラム
ポンプ
MVP
015-2
l/min 15 -
MVP
040-2
38 -
MVP
070-3
63
油回転
ポンプ
DUO 2,5 l/min 42
DUO 5M 84
*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨
ハイキューブ プロ
  • ・自動ベントバルブをオプション追加可能
  • ・キャスター標準装備
  • ・ターボ分子ポンプ & 粗排気ポンプ (油回転ポンプ or 多段ルーツ型ドライポンプ)を、自由に組合せ可能
  • ・フォアバキュームバルブ追加可能
▼ ハイキューブ プロ 製品仕様
機種 HiCube™ 80 Pro HiCube™ 300 Pro HiCube™ 400 Pro HiCube™ 700 Pro
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40
ISO-KF
(NW40)
63
ISO-K
63CF
(ICF114)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
160
ISO-K
160CF
(ICF203)
排気速度 N2 l/s 35 67 260 355 685
到達圧 油回転
ポンプ
Pa < 1.0×10-5 *1 < 5.0×10-8 *2 *3
ドライ
ポンプ
< 1.0×10-6 *2 *3
油回転
ポンプ
Penta
20
l/min 367
Penta
35
567
ドライ
ポンプ
ACP
15
233
ACP
28
450
*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

ロータリーポンプ

ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプ排気システムの特徴

  • ・業界トップレベルの基本性能
  • ・ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプと組合す事により、シンプルなシステム構築が可能
  • ・油逆流防止装置も付随
  • ・国内流通品の上位グレードポンプ油も使用可能
  • ・ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
DUO / ダブルステージ (2段式)
  • ・マグネットカップリング採用。
    従来のようなシャフトシール部からのオイル漏れなし
    リークタイト(10-6 pa m³/s)
    希釈冷凍機などの、希ガス循環にも可能。
▼ DUO ダブルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
DUO 1.6
DUO 1.6M
21(1.25) 25(1.5) 16ISO-KF
(NW16)
16ISO-KF
(NW16)
3.0×10-1 無し
DUO 3
DUO 3M
42(2.5) 49(2.9) 無し
DUO 6
DUO 6M
84(5) 100(6) 無し
DUO 11
DUO 11M
150(9) 170(10.5) 無し
DUO 20M 334(20) 400(24) 25ISO-KF
(NW25)
25ISO-KF
(NW25)
2.0×10-1 有り
DUO 35
DUO 35M
534(32) 600(36) 40ISO-KF
(NW40)
40ISO-KF
(NW40)
2.0×10-1 有り
DUO 65
DUO 65M
1034(62) 1167(70) 有り
DUO 125
DUO 125M
1917(115) 2250(135) 63ISO-F 63ISO-F 無し
DUO 255
DUO 255M
4167(250) 5000(300) 100ISO-F 100ISO-F 3.0×10-1 無し
*機種名の「M」は、マグネットカップリング仕様の略です。
Hena / シングルステージ (1段式)
  • ・排気速度→25~1600(m³/h)
  • ・オイルミストフィルター標準搭載
  • ・コンパクト&パワフル設計
  • ・イージーメンテナンス
  • ・高い安全性&信頼性
  • ・フランジ:接続が容易なDN ISO-KF/Kを採用
  • ・静音, 低振動
▼ Hena シングルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
Hena 25 417(25) 500(30) 40KF (NW40) 40KF (NW40) 30 -
Hena 40 667(40) 800(48) -
Hena 60 1050(63) 1267(76) -
Hena 100 1667(100) 2000(120) -
Hena 200 3333(200) 4000(240) DN 100 ISO-K DN 100 ISO-K -
Hena 300 5000(300) 6000(360) -
Hena 400 6667(400) 8000(480) -
Hena 630 10000(630) 12667(760) -
Hena 1000 16667(1000) 20000(1200) DN 160 ISO-K 100 -
Hena 1600 26667(1600) 32000(1920) 70 -
Uno Line Plus / シングルステージ (1段式)
  • ・排気速度→250, 500(m³/h)
  • ・オイルミストフィルター標準搭載
  • ・コンパクト&パワフル設計
  • ・水蒸気に対する優れた排気特性
  • ・適切な冷却水温調整
▼ Uno Line Plus シングルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
BA 251 4167(250) DN 63 ISO-F DN 63 ISO-K <6.0 -
BA 501 8333(500) DN 100 ISO-F DN 100 ISO-K -
Pascal / ダブルステージ(2段式)

ダブルステージ

  • SDシリーズ:標準ポンプ
  • ・大気/希ガス用、粗引きポンプ用途
  • I シリーズ:研究開発や分析機器用途
  • ・質量分析計、電子顕微鏡 などの粗引き用途
▼ Pascal ダブルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
2005 90(5.4) 108(6.5) 25ISO-KF 25ISO-KF 1×10-1 -
2010 162(9.7) 193(11.6) -
2015 250(15) 300(18) -
2021 345(20.7) 413(24.8) -
2033 500(30) 660(39.6) 40ISO-KF 40ISO-KF 2.2×10-1 -
2063 1000(60) 1201(72) -
*上記製品のオイルはファイファー社製(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

ダブルステージ(C1シリーズ)

  • C1:腐食性用途
  • ・研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途
▼ Pascal ダブルステージ(C1シリーズ) 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
2005C1 90(5.4) 108(6.5) 25ISO-KF 25ISO-KF 1.5×10-1 耐腐食
2010C1 162(9.7) 193(11.6) 耐腐食
2015C1 250(15) 300(18) 耐腐食
2021C1 345(20.7) 413(24.8) 耐腐食
2033C1 500(30) 660(39.6) 40ISO-KF 40ISO-KF 2.2×10-1 耐腐食
2063C1 1000(60) 1201(72) 耐腐食
*上記製品のオイルはファイファー社製(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

ダブルステージ(C2シリーズ)

  • C2:腐食性用途
  • ・イオン注入、スパッタリング装置などの用途
▼ Pascal ダブルステージ(C2シリーズ) 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
2010C2 162(9.7) 193(11.6) 25ISO-KF 25ISO-KF 1.5×10-1 耐腐食
2015C2 250(15) 300(18) 耐腐食
2021C2 345(20.7) 413(24.8) 耐腐食
2033C2 500(30) 660(39.6) 40ISO-KF 40ISO-KF 2.2×10-1 耐腐食
2063C2 1000(60) 1201(72) 耐腐食
*上記製品のオイルはファイファー社製(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

ドライポンプ

ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプ排気システムの特徴

  • ・業界トップレベルの基本性能
  • ・ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
ダイアフラムポンプ
  • ・オイルフリー
  • ・低振動、低騒音
  • ・国内外対応、電源仕様
▼ ダイアフラムポンプ 製品仕様
機種 排気速度
(l/min:50Hz)
排気速度
(l/min:60Hz)
吸気口径
*1
排気口径
*1
到達真空度
(Pa)
リークレート
(Pa*m³/s)
耐腐食性
機種
MVP006-4 5.5 (DC24V) G1/8 200 6.0×10-3 -
MVP015-2 20 23.3 G1/8 G1/8 350 5.0×10-4 -
MVP015-4 16ISO-KF
(NW16)
50 -
MVP020-3
AC
16.7 20.0 G1/8 200 1.0×10-2 -
MVP030-3
DC
30(DC24V) G1/8 250 1.0×10-2 -
MVP040-2 38.3 41.7 G1/4 400 2.0×10-3 -
MVP070-3 63.3 71.7 G1/4 100 2.0×10-3 -
MVP070-3 C 56.7 63.3 Hose nipple
10 mm
16ISO-KF
(NW16)
150 有り
*1 変換用部品ございます。お問合せください。
スクリュー型ドライポンプ

HeptaDry™

  • ・排気速度:100~600(m³/h)
  • ・オイルフリー
  • ・水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載
  • ・パーティクル、液体に強い
  • ・独自の異形ピッチ型スクリュー方式:
    ・エネルギー効率アップ
    ・冷却ガス不要、
    ・低回転数 3000 1/min
  • ・低騒音
▼ スクリュー型ドライポンプ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h
:50Hz)
排気速度
l/min(m³/h
:60Hz)
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa:50Hz)
到達真空度
(Pa:60Hz)
ノイズ
(db:50Hz)
ノイズ
(db:60Hz)
Hepta 100 1883(110) 2167(130) DN 63 ISO-K DN40-PN16 <5.0 <1.0 70 74
Hepta 200 3667(220) 4417(265) DN50-PN16 71 76
Hepta 300 5333(320) 6833(410) 72 77
Hepta 400 5833(350) 7000(420) DN 100 ISO-K DN80-PN16 66 69
Hepta 600 8750(525) 10500(630) 70 75
多段ルーツ式ドライポンプ

ACPシリーズ

  • ・プロセスモニタリング、ロードロック/トランスファーチャンバー、イオンビームなどのクリーンアプリケーション向け
  • ・パーティクルレスでクリーンな排気
  • ・空冷式 ⇒ 冷却水不要
  • ・リークタイト 5 × 10-8Pa・m³/s
    →ガス回収、ガス循環に最適
  • ・スタンダードモデル
  • ・耐腐食性ガス対応モデル(Gバージョン)
  • ・凝縮性蒸気対応モデル(CVバージョン)
▼ 多段ルーツ式ドライポンプ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
50/60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージガスなし(Pa)
到達真空度
パージガスあり(Pa)
最大水蒸気
処理量(g/h)
ACP15 232(14) DN 25ISO-KF DN 16ISO-KF 3 - 80
ACP15G 10 -
ACP28 448(27) DN 25ISO-KF - 120
ACP28G 10 -
ACP28CV - 700
ACP40 614(37) DN 40ISO-KF - -
ACP40G 10 -
ACP40CV - 700
*耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。
ACP120シリーズ
  • ・コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなどの一般産業向け
  • ・大型チャンバーの粗引き用途
  • ・耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)
  • ・パーティクルレスでクリーンな排気
▼ ACP120シリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度、
パージガスなし(Pa)
耐腐食性
機種
ACP120 1580(95) 1860(112) 50ISO-KF 40ISO-KF 3 -
ACP120G 有り
*耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。
ACG600シリーズ
  • ・コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け
  • ・高スループット
  • ・10m³までの大型チャンバーの排気が可能(オプション)
  • ・耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)
▼ ACG600シリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度、
パージガスなし(Pa)
耐腐食性
機種
ACG600
8000(480) 9333(560) 50ISO-KF 40ISO-KF 9.0 x 10^-2 -
ACG600G 有り
A100Lシリーズ
  • ・ロードロック、及びクリーンプロセス向け
  • ・ハイパフォーマンス、高スループット
  • ・低振動、低ノイズ
  • ・低消費電力タイプ(ESバージョン)
  • ・コンパクト設計
▼ A100Lシリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
50/60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
消費電力*1
(kW)
耐腐食性
機種
A100L 1583(95) 50ISO-KF 25ISO-KF 6.6×10-1 1.6 -
A100L ES 1666(100) 50ISO-KF 25ISO-KF 6.6×10-1 < 0.8 -
*1到達真空度時
A3Pシリーズ
  • ・ミディアムプロセス向け(エッチャー、イオン注入、PVDなど)
  • ・省エネ、省スペース
▼ A3Pシリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
吸気口径 排気口径 到達真空度、
パージガスなし
(Pa)
到達真空度、
パージガスあり
(Pa)
耐腐食性
機種
A103P 2000(120) 50ISO-KF 25ISO-KF 6.5×10-1 2.6 有り
A603P 9500(570) 100ISO-KF 3.0×10-2 1.0×10-1
A1003P 15000(900)
*耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。
A3Hシリーズ
  • ・ハーシュプロセス向けドライポンプ(PECVD、SACVD、ALDなど)
  • ・過酷なプロセス向け
  • ・高ガススループット
▼ A3Hシリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h):
50Hz
排気速度
l/min(m³/h):
60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージガスなし
(Pa):50Hz
到達真空度
パージガスなし
(Pa):50Hz
耐腐食性
機種
A203H 2167(130) 2667(160) 50ISO-K 40ISO-KF 7 40 有り
A803H 10000(600) 11670(700) 100ISO-K 1.0×10-1 1
A1503H 18333
(1100)
20000
(1200)
100/160
ISO-K
8.0×10-2
A1803H 27500
(1650)
28333
(1700)

質量分析計

ファイファーバキューム社製四重極型質量分析計の特徴

  • ・分析管&コントローラー一体型(省スペース)
  • ・モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合)
  • ・最速2msの高速測定
  • ・ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
PrismaPlus QMG220 / 四重極質量分析計
  • ・分析管&コントローラー一体型(省スペース)
  • ・モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
  • ・一つの測定ファイルで 128 チャンネルを割り当て可能
  • ・8桁以上の大きなダイナミックレンジ
  • ・最速2msの高速測定
▼ PrismaPlus QMG220 / 四重極質量分析計 製品仕様
QMG220 F1 M1 F2 M2 F3 M3
マスレンジ 1-100 1-100 1-200 1-200 1-300 1-300
ディテクタ ファラデー
- チャンネル
トロン
- チャンネル
トロン
- チャンネル
トロン
検出限界(Pa)
ファラデー /
チャンネル
トロン
1×10-10 5×10-10 2×10-10 1×10-9 4×10-10 2×10-9
- 1×10-12 - 1×10-12 - 2×10-12
感度:Ar(A/Pa)
ファラデー /
チャンネル
トロン
1×10-5 5×10-6 6×10-6 3×10-6 4×10-10 2×10-9
- 2 - 2 - 1
許容
最大圧力(Pa)
ファラデー /
チャンネル
トロン
1×10-2 1×10-2 1×10-2 1×10-2 1×10-2 1×10-2
- 1×10-3 - 1×10-3 - 1×10-3
隣接ピーク
寄与率
Mass40/41
(ppm)
< 10 < 10 < 20 < 20 < 50 < 50
OmniStar & ThermoStar GSD320 / ベンチトップガスモニター
  • ・2段減圧方式により高速レスポンス・マスディスクリミネーションを防止
  • ・最大200℃、オプションで350℃ での温度制御ヒータ付きキャピラリ付属
  • ・ガスタイト型イオン源の採用により少量の導入ガスを効率良くイオン化
  • ・100%酸素導入も可能
  • ・マトリクス濃度計算による定量分析
  • ・温度等外部信号の取り込み
  • ・スレッシュホールド機能により外部機器を制御
▼ OmniStar & ThermoStar GSD320 / ベンチトップガスモニター 製品仕様
機種 OmniStar ThermoStar
測定質量数 100
200
300
キャピラリ材質 ステンレス 石英
ガス導入 バルブ制御可能 連続導入
(メモリ効果防止)
ガス流量(sccm) 1〜2
Sputter Process Monitor SPM220 / プロセスモニター
  • ・プロセスコントロール用差動排気型質量分析計
  • ・プロセスガスの純度・不純物の測定
  • ・プロセス圧力でイオン化する独自構造のSPMイオンソースにより、分析チャンバー内の水分等残留ガスによる影響を徹底的に排除
  • ・プロセス室の変化に高速応答
  • ・40eVのイオン化電圧により二価イオンを抑制
▼ Sputter Process Monitor SPM220 / プロセスモニター 製品仕様
質量分析範囲 1~100amu、1~200amu 最小検知感度
(Ar中,1~100amu型)
CO2: 100ppb以下
対応プロセス圧力 1Pa以下(標準) 水素: 3,000ppb以下
検出器 C-SEM/Faraday 窒素: 100ppb以下
接続フランジ DN40CF-F(ICF70CF) 酸素: 100ppb以下
測定チャンネル数 128ch(MID時系列モード) H2O: 500ppb以下
測定速度 アナログ・バーグラフ:20ms/amu(Min.) 動作電圧 単相100V/200V、50/60Hz
ステア・MID(Dwell):2ms(Min.) 重量 13kg(本体+ダーボ分子ポンプ)
ターボ分子ポンプ HiPace80 with TC110RS (4 acc. ports) インターフェース イーサネット
粗引きポンプ MVP020-3(メンブレン) 対応OS Windows 7Pro, 8.1(32,64bit)
HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計
  • ・多用途高性能四重極質量分析計
  • ・モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
  • ・1~16,128,300,340,512,1024,2048amuの測定レンジ
  • ・10種類を超えるイオンソース・イオンレンズを選択可能
  • ・高感度・低ノイズ・最大10桁のダイナミックレンジを実現
  • ・耐放射線型・水素脱ガス(アニール)型(QMA125分析管のみ)
▼ HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計 製品仕様
高分解能測定型 高質量測定型
質量分析範囲 1~16,128,340amu 1~300,512,1024,2048amu
最大測定圧力 1・10-3Pa(SEM)/1・10-2Pa(Faraday)
検出器 ディスクリートSEM(コンバージョンダイノード型オプション)/Faraday
Qポール 16㎜径,300㎜長,モリブデン 8㎜径,200㎜長,モリブデン(300amuのみSUS)
分解能 >M/ΔM=600 (m/z=4, 16amuタイプ) >M/ΔM= 2
最小検出限界 5・10-14Pa (128amuタイプ) 1・10-13Pa (512amuタイプ)
最小検出限界(分圧) 0.3ppb (128amuタイプ) 0.5ppb (512amuタイプ)
測定チャンネル数 128ch
最小測定速度 アナログ・バーグラフ: 20ms/amu(Min.)
ステア・MID: 125μs/amu(Min.)
測定動作温度 最大150℃
ベーキング温度 動作時最大180℃ / 分析管単体最大400℃ (注意・諸条件有)
動作電圧 単相100V/200V、50/60Hz
対応OS Windows7 Professional、8.1(32,64bit)

リークディテクター

ファイファーバキューム社製リークディテクターの特徴

  • ・フィールドサービスに最適 ⇒ 軽量でポータブルな設計 21kgがラインナップ
  • ・SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
  • ・日本語ガイダンス機能
  • ・ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
MiniTest300 - ポータブルモデル
  • ・クオーツウィンドウセンサー採用のリークディテクタ
  • ・軽量、コンパクト 重量5kg
  • ・20,000Paからリークテスト可能
  • ・リモコンによる簡単操作。最大で100m離れた場所からワイヤレス操作可能(オプション)
  • ・真空炉、ランプ製造、プラント工場など産業用途
▼ MiniTest300 - ポータブルモデル 製品仕様
項目 単位 MiniTest300
テストポートフランジ   DN25KF(NW25)
最大テストポート圧力 Pa 20,000
最小検知可能リークレート Pa・m³/s 5.0×10-8
重量 kg 5
ASM310 - ポータブルモデル
  • ・フィールドサービスに最適 ⇒ 軽量でポータブルな設計 21kg
  • ・SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
  • ・日本語ガイダンス機能
  • ・取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • ・真空法/スニファー法 両モードに対応(ボタン操作で簡単切替)
  • ・粗引きポンプ ドライポンプ内蔵(約30L/min)
  • ・世界中で使用可能 ⇒ ユニバーサル電圧対応 90~240V(単相)
▼ ASM310 - ポータブルモデル 製品仕様
項目 単位 ASM310
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN25KF(NW25)
最大テストポート圧力 Pa 1,500
ヘリウム排気速度 l/s 1.1
粗引きポンプ排気速度 m/h 1.7
最小検知可能リークレート (真空法) Pa・m³/s 5×10-13
最小検知可能リークレート (スニファー法) Pa・m3/s 1×10-8
測定可能ガス   4He, 3He, H2
重量 kg 21
対応言語   9ヶ国(日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など)
ASM340 - 多目的モデル
  • ・クラス最短のテスト開始時間を実現 ⇒ 15m³/h粗引きポンプ内蔵 ※1
  • ・テスト開始時間の短縮 ⇒ テスト開始可能ポート圧力 2,500Pa
  • ・日本語ガイダンス機能
  • ・取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • ・真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ボタン操作で簡単切替
  • ・SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
  • ・ワイヤレスリモコンにより最大で100m離れた場所から操作可能(オプション)
  • ・粗引きポンプ非搭載型 ASM340I ⇒ 粗引きポンプの選択が可能

※1 ASM340(粗引きポンプ:油回転ポンプ)の場合

▼ ASM340 - 多目的モデル 製品仕様
項目 単位 ASM340 ASM340D ASM340I
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN25KF(NW25)
最大テストポート圧力 Pa 2,500
ヘリウム排気速度 l/s 2.5
粗引きポンプ排気速度 m3/h 15(油回転ポンプ) 3.4(ドライポンプ) -
最小検知可能リークレート (真空法) Pa・m3/s 5×10-13
最小検知可能リークレート (スニファー法) Pa・m3/s 5×10-10
測定可能ガス   4He, 3He, H2
重量 kg 56 45 32
対応言語   9ヶ国(日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など)
ASM380 - 高性能可搬型モデル
  • ・高速リカバリータイム ⇒ ヘリウム排気速度 7 l/s
  • ・粗引きポンプ 多段ルーツ型ドライポンプ 35m³/h内蔵
    ⇒ 大型チャンバーに対して真空引き時間の短縮を実現
    ⇒ パーティクルフリー
    ⇒ ロングメンテナンスサイクル
  • ・日本語ガイダンス機能
  • ・10種類を超えるイオンソース・イオンレンズを選択可能
  • ・取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • ・真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ ボタン操作で簡単切替
  • ・SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単
▼ ASM380 - 高性能可搬型モデル 製品仕様
項目 単位 ASM380
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN40KF(NW40)
最大テストポート圧力 Pa 1,500
ヘリウム排気速度 l/s 7
粗引きポンプ排気速度 m3/h 35
最小検知可能リークレート (真空法) Pa・m3/s 5×10-13
最小検知可能リークレート (スニファー法) Pa・m3/s 1×10-8
測定可能ガス   4He, 3He, H2
重量 kg 110
対応言語   9ヶ国(日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など)
ASM182T - 高性能コンパクト
  • ・高速リカバリータイムを実現 ⇒ ヘリウム排気速度 4.4 l/s
  • ・粗引きポンプ 多段ルーツ型ドライポンプ 25m³/h内蔵 ※1
    ⇒ 大型チャンバーに対して真空引き時間の短縮を実現
    ⇒ パーティクルフリー
    ⇒ ロングメンテナンスサイクル
  • ・日本語ガイダンス機能
  • ・取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • ・真空法/スニファー法 両モードに対応 ⇒ボタン操作で簡単切替
  • ・SDカード内蔵 ⇒ データの保存・移行が簡単

※1 ASM182TD+の場合

▼ ASM182T - 高性能コンパクト 製品仕様
項目 単位 ASM182T ASM182TD+
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN40KF(NW40)
最大テストポート圧力 Pa 600
ヘリウム排気速度 l/s 4.4
粗引きポンプ排気速度 m3/h 20(油回転ポンプ) 25(ドライポンプ)
最小検知可能リークレート
(真空法)
Pa・m3/s 5×10-13
最小検知可能リークレート
(スニファー法)
Pa・m3/s 1×10-8
測定可能ガス   4He
重量 kg 76 88

真空計(キャパシタンスゲージ )

ファイファーバキューム社製真空計の特徴

  • ・豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能
  • ・ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
アクティブライン
  • ・エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
  • ・ノイズに強い多機能アナログ出力 → 測定信号、エラー信号など判別可能
  • ・ゲージコネクター形状の統一 → 複数コントローラー不要
  • ・ゲージ自動認識 (プラグアンドプレイ) → 複数 (最大6ch) のゲージを1台のコントローラーに接続可能
▼ アクティブライン 製品仕様
A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域 (Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
APR250 ピエゾゲージ 16KF (NW16) 1.1×105 10 3
APR260
16CF (ICF34)
APR262 G1/4" 2.2×105 20 6
APR265 5.5×105 50 15
APR266 1.1×106 100 30
APR267 5.5×106 500 150
CMR361 セラミックス
キャパシタンス
ゲージ
16KF (NW16)
16CF (ICF34)
1/2" チューブ
Cajon 8 VCR
1.1×105 10 3
CMR362 1.1×104 1 2
CMR363 1.1×103 1.0×10-1
CMR364 110 1.0×10-2
CMR365 11 1.0×10-3 1.3
CMR371 セラミックス
キャパシタンス
ゲージ
温度 (45°C補正)
1.1×105 10 3
CMR372 1.1×104 1 2
CMR373 1.1×103 1.0×10-1
CMR374 110 1.0×10-2
CMR375 11 1.0×10-3
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
TPR280 ピラニゲージ 16KF (NW16)
16F (ICF34)
1.0×105 5.0×10-2 10
TPR281 耐腐食性
ピラニゲージ
PCR280 ピラニ &
キャパシタンス
コンビネーション
ゲージ
16KF (NW16)
16CF (ICF34)
1.5×105 5.0×10-3 5
IKR251
(内部バイトン
シール)
コールドカソード
ゲージ
25KF (NW25)
*1
40KF (NW40)
40CF (ICF70)
1 2.0×10-7
*2
10
IKR261
(内部メタルシール)
IKR270
(内部メタルシール)
5.0×10-9
*2
PKR251
(内部バイトン
シール)
ピラニ &
コールドカソード
コンビネーション
ゲージ
25KF (NW25)
40KF (NW40)
40CF (ICF70)
1.0×105 5.0×10-7
*2
10
PKR261
(内部メタルシール)
IMR265 プロセスイオン
ゲージ
16KF (NW16)
25KF (NW25)
40KF (NW40)
16CF (ICF34)
40CF (ICF70)
1.0×105 2.0×10-4 5
PBR260 ピラニ &
ホットカソード
コンビネーション
ゲージ
25KF (NW25)
40KF (NW40)
40CF (ICF70)
1.0×105 5.0×10-8
*2
2
*1: IKR251 のみ25KF (NW25) 対応
*2
: フランジによる
アクティブライン用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度
表示形式
TPG261 シングルゲージ
コントローラー
1 2 -
TPG262 デュアルゲージ
コントローラー
2 4 切換
TPG256 マキシゲージ
コントローラー
6 6
*1
6ch 同時可能
*1: IMR265 / PBR260 に関しては、最大 3 個まで接続可能
デジライン
  • ・エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
  • ・2種類のフィールドバスコンバーター (Profibusコンバーター、DeviceNetコンバーター) → システムコントラローラーで制御可能
  • ・RS485 ケーブルでゲージ間シリアル接続可能 → 省ケーブル
  • ・PC、PLC へのデータ転送可能なコントローラー → データ管理が容易で、コンパクト
▼ デジライン 製品仕様
A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
CPT200 ピエゾゲージ 16KF (NW16)
G1/4"
2.0×105 100 4
B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
PPT200 ピラニゲージ 16KF (NW16)
16CF (ICF34)
1.0×105 1.0×10-2 4
RPT200 ピエゾ&ピラニ
コンビネーション
ゲージ
16KF (NW16)
16CF (ICF34)
1.2×105
HPT200 ピラニ&
ホットカソード
コンビネーション
ゲージ
40KF (NW40)
40CF (ICF70)
1.0×105 5.0×10-7
*1
MPT200 ピラニ&
コールドカソード
コンビネーション
ゲージ
25KF(NW40)
40KF(NW40)
40CF (ICF70)
1.0×105 5.0×10-8
*1
*1: フランジによる

デジライン用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度
表示形式
DPG202 - 2 2 -
モジュールライン
  • ・多様なニーズにお応えできるラインナップ
  • ・超高真空仕様、耐腐食性仕様、耐放射線仕様
  • ・加速器、放射光関係などの研究機関への納入実績多
▼ モジュールライン 製品仕様
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域 (Pa) 対放射線
(Gy)
上限 下限
TPR010 ピラニゲージ 10KF (NW10) 1.0×105 8.0×10-2 -
TPR017 耐腐食性&
耐放射線
ピラニゲージ
16KF (NW16)
16CF (ICF34)
1.0×104
TPR018 超高真空&
耐放射線
ピラニゲージ
16KF (NW16)
16CF (ICF34)
40CF (ICF70)
IKR050
(内部バイトン
シール)
コールドカソード
ゲージ
25KF (NW25)
*1
40KF (NW40)
40CF (ICF70)
5.0×10-1 2.0×10-7 -
IKR060
(内部メタルシール)
超高真空 &
耐放射線
コールドカソード
ゲージ
1.0×10-8 1.0×107
IKR070
(内部メタルシール)
1.0×10-9
*1: IKR050 のみ 25KF (NW25) 対応
*2: 要対応ボード、ケーブル
TPG300シリーズ用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度
表示形式
TPG300 - 4 5 *1 切換
その他 : ハンディピラニゲージ
  • ・専用コントローラー不要、省スペース
  • ・データロガー機能
  • ・駆動電源は乾電池9V型、またはACアダプター(オプション)
  • ・持ち運びに便利。フィールドサービス用途に◎。
  • ・大気圧近辺で高精度で測定が可能(TPG202のみ)
  • ・1000Pa以上はガス種に依存しない測定が可能(TPG202のみ)
▼ ハンディピラニゲージ 製品仕様
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
TPG201 ピラニゲージ 16KF (NW16) 1.0×105 5.0×10-2 4
TPG202 ピエゾピラニゲージ 16KF (NW16) 1.2×105 5.0×10-2 2

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