エドワーズ社製真空ポンプ

弊社は、真空ポンプのメーカである、エドワーズ社製品を北海道で扱っています。国際的に非常に性能の高いブランドとして位置づけられている、ターボ分子ポンプをはじめ、スクロールポンプやロータリーポンプを代理店として卸売り販売を行っております。

真空装置の販売について

ターボ分子ポンプや、ドライポンプを組合わせた真空装置を販売も致しています。極限環境を求められる分野は、専門領域です。極高真空と極低温を組合わせた装置。超高熱と高真空を組合わせた装置。どちらにも適合した、真空ポンプ(排気システム)をご提案します。

また、T-Stationという低価格な高真空排気セットも通常ラインとは別にカスタマイズも出来ます。エドワーズ社ではスクラバー設備も製作しており、ハロゲンガスや無機ガスを除害することも可能です。イオンポンプ、チタンサブリメーションポンプ、非蒸発性ゲッターポンプも充実し、極高真空領域もカバーできる体制です。

真空ポンプおよび各種製品のご紹介
ゲッターポンプ、イオンポンプ

エドワーズでは、真空の世界をより広げるためにゲッターポンプ、イオンポンプやサブリメーションポンプを扱っています。超高真空分野を、ターボ分子ポンプとドライポンプやローターリーポンプを通じて、質量分析や表面分析、極低温超高真空を用いたSTM分野で装置へのより高性能な高真空を提供します。

ターボ分子ポンプ

STPシリーズは磁気浮上ポンプの最骨頂です。ケミカル型も在り、排気する気体に合わせて設定が可能で、設定方向自在です。

ターボ分子ポンプには、代表例(ほか製品も在ります)

  • ▲ 磁気浮上型ターボ分子ポンプSTP-301(クリックで拡大)

  • ▲ 磁気浮上型ターボ分子ポンプSTP-603(クリックで拡大)

  • ▲ 磁気浮上型ターボ分子ポンプSTP-1003(クリックで拡大)

セラミック軸受け型も用意されています。

ロータリーポンプ

RVシリーズ及びE2シリーズは、小排気量から大排気量まであり、到達真空度は業界一位であり、超低振動で安定した性能を有しています。質量分析計のバックポンプを始め、各分析ポンプの標準品として利用されています。油逆流防止装置、ガスバラストバルブなども該当製品には全て標準付属です。

  • ▲ RV3 2ステージポンプ(クリックで拡大)

  • ▲ RV5 2ステージポンプ(クリックで拡大)

  • ▲ RV8 2ステージポンプ(クリックで拡大)

  • ▲ RV12 2ステージポンプ(クリックで拡大)

スクロールポンプ

nXDSシリーズ、XDSシリーズはメンテナンスはカスタマーで可能で、ラインオフ時間を最小限にし、代替え機の用意などを不要にします。

T-Station

T-Stationはダイヤフラムポンプやスクロールポンプ、ロータリーポンプとの組み合わせが可能で使われるシステムに合わせてカスタマイズが加工で、標準で信号を取り出したり制御が可能です。

総合コントローラー TIC

TICは真空計や真空ポンプの制御が統合して行えます。ターボ分子ポンプの機動をするために、粗引きから本真空引きまで一台でこなします。 様々な真空計とも連動が取れ、マグネトロンゲージとピラニゲージを合わせて信号を統合し低真空領域から高真空領域までフラットな測定や、排気システムの制御が行えます。

独自のコンポーネント

クランプリングは、エドワーズ社特性の製品で、スペースに気遣う配管ラインを組む際に実に小型でコンパクトです。製品強度も在り特にNW(KF)フランジ継ぎ手でラインを組んだ際にクランプ類で大袈裟にならなく、すっきりとすませる事が出来ます。通常のクランプやセンタリング付きOリング、ガスケットも扱っています。

エドワーズ社製品の万全な保守体制

エドワーズ社製品は、国内でメンテナンス・修理を行える万全の体制で、カスタマーが要望するシステムを複合的に対応できます。年に数回、弊社と共同でキャンペーンを行っていますので、出来るだけ最適な価格でご提案できる様に、代理店である弊社は常に準備しています。なお、リビルドポンプも扱っていますので、ご照会ください。

真空ポンプを利用した応用装置の製作も行います。応用装置の一例をこちらに掲載しております。