ターボ分子ポンプ・ターボ分子ポンプ排気システム
ターボ分子ポンプ

HiPace シリーズはターボ分子ポンプの世界最高品質です。ケミカル型も在り、排気する気体に合わせて設定が可能で、設定方向が自在です。また、磁気浮上型の「HiPace M型」もありラインナップが揃っています。水素やヘリウムに対して特に高圧縮比を用いた「HiPace H型」モデルも在ります。

軸受型(セラミックボールベアリング)
  • 複合型ターボ分子ポンプ
  • 業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
  • 取り付け姿勢自由
  • 各種規格に対応:RoHS、CE、UL(1部)、Semi
  • 防塵、防水規格IP54適合
軸受型 製品仕様
標準仕様
機種 ドライブ
回路
口径 排気速度
N2(l/s)
排気速度
H2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比H2 最大
許容背圧
(Pa)
取付姿勢
HiPace
10
TC110 25KF/
NW25
10 3.7 5.0×10-3
*1
3.0×106 3.0×102 2500 自在
HiPace
80
40KF/
NW40
35 38 <1.0×10-5
*1
>1.0×1011 1.4×105 2200
63ISO-K 67 48 <5.0×10-8
*2*3
63CF/
ICF114
HiPace
300
100ISO-K
100CF/
ICF152
100ISO-F
260 220 9.0×105 1500
TC400 2000
HiPace
400
370 460 4.0×105 1400
HiPace
700
160ISO-K
160CF/
ICF203
160ISO-F
680 580
HiPace
1200
TC1200 200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F
1250 1100 <1.0×10-5 1.0×108 6.0×103 200 水平
or
逆水平
HiPace
1500
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1450 1150
HiPace
1800
200ISO-K
200ISO-F
1450 1700 2.0×104 180
HiPace
2300
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1900 1850

*1: ベーキングなし
*2: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

耐腐食性仕様
機種 ドライブ
回路
口径 排気速度
N2(l/s)
排気速度
H2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比H2 最大
許容背圧
(Pa)
取付姿勢
HiPace
300C
TC400 100ISO-K
100CF/
ICF152
100ISO-F
245 125 <1.0×10-5 1.0×106 3.0×102 100 水平
or
逆水平
Hipace
1200C
TC1200 200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F
1250 1100 <1.0×10-5 >1.0×108 6.0×103 200
HiPace
1500C
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1450 1150
HiPace
1800C
200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F
1450 1700 2.0×104 180
HiPace
2300C
250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F
1900 1850

水冷仕様推奨

磁気浮上型
  • 五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
  • メンテナンスフリー、オイルフリー
  • 取付け方向自由、低振動、低ノイズ
  • 業界トップクラスの圧縮比
磁気浮上型 製品仕様
機種 ドライブ回路 口径 排気速度
N2(1/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比
H2
最大
排気圧力
(Pa)
取付姿勢
HiPace
300M
TC700 100ISO-K 255 <5×10-8 1×1011 5×104 2000 自在
100CF/
ICF152
100ISO-F
HIPace
700M
TC700 160ISO-K 685 1×1011 2×104 800 自在
160CF/
ICF203
160ISO-F
HiPace
800M
TC700 200ISO-K 790 1×1010 2×104 800 自在
200CF/
ICF253
200ISO-F
<共通>大排気量用途
ATH-Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。
大排気量用途 製品仕様
機種 口径 排気速度
N2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比
N2
最大ガス
流量
N2(sccm)*
最大
排気圧力
(Pa)
取付姿勢
ATH500M DN100 350 <1×10-6 2×107 2×102 4000 260 自在
DN160 550
ATH500MT DN100 350
DN160 550
ATH1603M DN200 1360 <6×10-7 >1×108 5×102 4000 170
DN250 1400
ATH
1600MT
DN200 1360 220
DN250 1400
ATH2303M DN250 2150 <6×10-7 >1×108 >1×103 4000 290
ATH
2300MT
DN200 1550 >2×103 280
DN250 2150
ATH2800M DN250
VG250
2200 <6×10-7 >1×108 >2×103 5000 210
ATH
2800MT
ATH
3200M
DN320
VG350
2800 <6×10-7 >1×108 >2×103 5000 210
ATH
3200MT

*環境温度、水量、水温など外部状況による

軽ガス排気用途
業界トップクラスの圧縮比
軽ガス排気用途 製品仕様
機種 口径 排気速度
N2(l/s)
到達真空度
(Pa)
圧縮比
N2
圧縮比
H2
最大ガス
流量
N2(sccm)*
最大
排気圧力
(Pa)
取付姿勢
ATP2300M DN200 1250 <4×10-7 >1×108 >7×1003 2200 210 自在
DN250 1750

*環境温度、水量、水温など外部状況による

ターボ分子ポンプ排気システム
ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプ排気システムの特徴
  • 大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績
  • 業界トップレベルの基本性能 → 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
  • ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
  • 付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社製真空計モニタリング可能
  • アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) → 面倒な配線作業などが不要
  • ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
  • ユニットからターボ分子ポンプの切り離しが可能(オプション) ⇒ 真空引き時間の短縮
ハイキューブ エコ
  • 卓上設置可能なコンパクト設計
  • 持ち運び可能な軽量設計
  • ワンタッチで高真空まで排気可能
  • 真空計(アクティブライン)の接続、表示可能
    *真空計の表示部を測定子のみで独立なくとも表示が可能/単位(hPa)
ハイキューブ エコ 製品仕様
機種 Hi Cube 80 Eco
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40ISO-KF
(NW40)
63ISO-K 63CF
(ICF114)
排気速度 N2 l/s 35 67
到達圧 Pa <1.0×10-5 *1 < 1.0×10-6 *2 *3
ダイアフラム
ポンプ
MVP015-2 l/min 15

*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

ハイキューブ クラシック
  • 自動ベントバルブ標準装備
  • キャスター付仕様 → 移動が簡単
  • ターボ分子ポンプ & 粗排気ポンプ (油回転ポンプ or ダイアフラムポンプ)を、自由に組合せ可能
  • フォアバキュームバルブ追加可能
ハイキューブ クラシック 製品仕様
機種 HiCube™ 80 classic HiCube™ 300 classic HiCube™ 400 classic HiCube™ 700 classic
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40
ISO-KF
(NW40)
63
ISO-K
63CF
(ICF114)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
160
ISO-K
160CF
(ICF203)
排気速度 N2 l/s 35 67 260 355 685
到達圧 油回転
ポンプ
Pa < 1.0×10-5 *1 < 5.0×10-8 *2 *3
ダイア
フラム
ポンプ
< 1.0×10-6 *2 *3
ダイアフラム
ポンプ
MVP
015-2
l/min 15 -
MVP
040-2
38 -
MVP
070-3
63
油回転
ポンプ
DUO 2,5 l/min 42
DUO 5M 84

*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

ハイキューブ プロ
  • 自動ベントバルブをオプション追加可能
  • キャスター標準装備
  • ターボ分子ポンプ & 粗排気ポンプ (油回転ポンプ or 多段ルーツ型ドライポンプ)を、自由に組合せ可能
  • フォアバキュームバルブ追加可能
ハイキューブ プロ 製品仕様
機種 HiCube™ 80 Pro HiCube™ 300 Pro HiCube™ 400 Pro HiCube™ 700 Pro
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40
ISO-KF
(NW40)
63
ISO-K
63CF
(ICF114)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
100
ISO-K
100CF
(ICF152)
160
ISO-K
160CF
(ICF203)
排気速度 N2 l/s 35 67 260 355 685
到達圧 油回転
ポンプ
Pa < 1.0×10-5 *1 < 5.0×10-8 *2 *3
ドライ
ポンプ
< 1.0×10-6 *2 *3
油回転
ポンプ
Penta
20
l/min 367
Penta
35
567
ドライ
ポンプ
ACP
15
233
ACP
28
450

*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

真空ポンプおよび各種製品一覧

真空ポンプを利用した応用装置の製作も行います。応用装置の一例をこちらに掲載しております。