ドライポンプ・ロータリーポンプ
ドライポンプ
ファイファーバキューム社製ドライポンプの特徴
  • 業界トップレベルの基本性能
  • ワールドワイドサービス ⇒ 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
ダイアフラムポンプ
  • オイルフリー
  • 低振動、低騒音
  • 国内外対応、電源仕様
ダイアフラムポンプ 製品仕様
機種 排気速度
(l/min:50Hz)
排気速度
(l/min:60Hz)
吸気口径
*1
排気口径
*1
到達真空度
(Pa)
リークレート
(Pa*m³/s)
耐腐食性
機種
MVP006-4 5.5 (DC24V) G1/8 200 6.0×10-3 -
MVP015-2 20 23.3 G1/8 G1/8 350 5.0×10-4 -
MVP015-4 16ISO-KF
(NW16)
50 -
MVP020-3
AC
16.7 20.0 G1/8 200 1.0×10-2 -
MVP030-3
DC
30(DC24V) G1/8 250 1.0×10-2 -
MVP040-2 38.3 41.7 G1/4 400 2.0×10-3 -
MVP070-3 63.3 71.7 G1/4 100 2.0×10-3 -
MVP070-3 C 56.7 63.3 Hose nipple
10 mm
16ISO-KF
(NW16)
150 有り

*1 変換用部品ございます。お問合せください。

スクリュー型ドライポンプ
HeptaDry™
  • 排気速度:100~600(m³/h)
  • オイルフリー
  • 水冷システムに温度センサー付き調節バルブ搭載
  • パーティクル、液体に強い
  • 独自の異形ピッチ型スクリュー方式:エネルギー効率アップ、冷却ガス不要、低回転数 3000 1/min
  • 低騒音
スクリュー型ドライポンプ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h
:50Hz)
排気速度
l/min(m³/h
:60Hz)
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa:50Hz)
到達真空度
(Pa:60Hz)
ノイズ
(db:50Hz)
ノイズ
(db:60Hz)
Hepta 100 1883(110) 2167(130) DN 63 ISO-K DN40-PN16 <5.0 <1.0 70 74
Hepta 200 3667(220) 4417(265) DN50-PN16 71 76
Hepta 300 5333(320) 6833(410) 72 77
Hepta 400 5833(350) 7000(420) DN 100 ISO-K DN80-PN16 66 69
Hepta 600 8750(525) 10500(630) 70 75
多段ルーツ式ドライポンプ
ACPシリーズ
  • プロセスモニタリング、ロードロック/トランスファーチャンバー、イオンビームなどのクリーンアプリケーション向け
  • パーティクルレスでクリーンな排気
  • 空冷式 ⇒ 冷却水不要
  • リークタイト 5 × 10-8Pa・m³/s ⇒ ガス回収、ガス循環に最適
  • スタンダードモデル
  • 耐腐食性ガス対応モデル(Gバージョン)
  • 凝縮性蒸気対応モデル(CVバージョン)
多段ルーツ式ドライポンプ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
50/60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージガスなし(Pa)
到達真空度
パージガスあり(Pa)
最大水蒸気
処理量(g/h)
ACP15 232(14) DN 25ISO-KF DN 16ISO-KF 3 - 80
ACP15G 10 -
ACP28 448(27) DN 25ISO-KF - 120
ACP28G 10 -
ACP28CV - 700
ACP40 614(37) DN 40ISO-KF - -
ACP40G 10 -
ACP40CV - 700

*耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

ACP120シリーズ
  • コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなどの一般産業向け
  • 大型チャンバーの粗引き用途
  • 耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)
  • パーティクルレスでクリーンな排気
ACP120シリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度、
パージガスなし(Pa)
耐腐食性
機種
ACP120 1580(95) 1860(112) 50ISO-KF 40ISO-KF 3 -
ACP120G 有り

*耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

ACG600シリーズ
  • コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け
  • 高スループット
  • 10m³までの大型チャンバーの排気が可能(オプション)
  • 耐腐食ガス対応モデル(Gバージョン)
ACG600シリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度、
パージガスなし(Pa)
耐腐食性
機種
ACG600
8000(480) 9333(560) 50ISO-KF 40ISO-KF 9.0 x 10^-2 -
ACG600G 有り
A100Lシリーズ
  • ロードロック、及びクリーンプロセス向け
  • ハイパフォーマンス、高スループット
  • 低振動、低ノイズ
  • 低消費電力タイプ(ESバージョン)
  • コンパクト設計
A100Lシリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
50/60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
消費電力*1
(kW)
耐腐食性
機種
A100L 1583(95) 50ISO-KF 25ISO-KF 6.6×10-1 1.6 -
A100L ES 1666(100) 50ISO-KF 25ISO-KF 6.6×10-1 < 0.8 -

*1到達真空度時

A3Pシリーズ
  • ミディアムプロセス向け(エッチャー、イオン注入、PVDなど)
  • 省エネ、省スペース
A3Pシリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
吸気口径 排気口径 到達真空度、
パージガスなし
(Pa)
到達真空度、
パージガスあり
(Pa)
耐腐食性
機種
A103P 2000(120) 50ISO-KF 25ISO-KF 6.5×10-1 2.6 有り
A603P 9500(570) 100ISO-KF 3.0×10-2 1.0×10-1
A1003P 15000(900)

*耐腐食性用途については事前にご使用ガス等ご相談ください。

A3Hシリーズ
  • ハーシュプロセス向けドライポンプ(PECVD、SACVD、ALDなど)
  • 過酷なプロセス向け
  • 高ガススループット
A3Hシリーズ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h):
50Hz
排気速度
l/min(m³/h):
60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
パージガスなし
(Pa):50Hz
到達真空度
パージガスなし
(Pa):50Hz
耐腐食性
機種
A203H 2167(130) 2667(160) 50ISO-K 40ISO-KF 7 40 有り
A803H 10000(600) 11670(700) 100ISO-K 1.0×10-1 1
A1503H 18333
(1100)
20000
(1200)
100/160
ISO-K
8.0×10-2
A1803H 27500
(1650)
28333
(1700)
ロータリーポンプ
ファイファーバキューム社製ロータリーポンプの特徴
  • 業界トップレベルの基本性能
  • ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプと組合す事により、シンプルなシステム構築が可能
  • 油逆流防止装置も付随
  • 国内流通品の上位グレードポンプ油も使用可能
  • ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
DUO / ダブルステージ (2段式)
  • マグネットカップリング採用。
    従来のようなシャフトシール部からのオイル漏れなし
    リークタイト(10-6 pa m³/s)
    希釈冷凍機などの、希ガス循環にも可能。
DUO ダブルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
DUO 1.6
DUO 1.6M
21(1.25) 25(1.5) 16ISO-KF
(NW16)
16ISO-KF
(NW16)
3.0×10-1 無し
DUO 3
DUO 3M
42(2.5) 49(2.9) 無し
DUO 6
DUO 6M
84(5) 100(6) 無し
DUO 11
DUO 11M
150(9) 170(10.5) 無し
DUO 20M 334(20) 400(24) 25ISO-KF
(NW25)
25ISO-KF
(NW25)
2.0×10-1 有り
DUO 35
DUO 35M
534(32) 600(36) 40ISO-KF
(NW40)
40ISO-KF
(NW40)
2.0×10-1 有り
DUO 65
DUO 65M
1034(62) 1167(70) 有り
DUO 125
DUO 125M
1917(115) 2250(135) 63ISO-F 63ISO-F 無し
DUO 255
DUO 255M
4167(250) 5000(300) 100ISO-F 100ISO-F 3.0×10-1 無し

*機種名の「M」は、マグネットカップリング仕様の略です。

Hena / シングルステージ (1段式)
  • 排気速度 → 25~1600(m³/h)
  • オイルミストフィルター標準搭載
  • コンパクト&パワフル設計
  • イージーメンテナンス
  • 高い安全性&信頼性
  • フランジ:接続が容易なDN ISO-KF/Kを採用
  • 静音, 低振動
Hena シングルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
Hena 25 417(25) 500(30) 40KF (NW40) 40KF (NW40) 30 -
Hena 40 667(40) 800(48) -
Hena 60 1050(63) 1267(76) -
Hena 100 1667(100) 2000(120) -
Hena 200 3333(200) 4000(240) DN 100 ISO-K DN 100 ISO-K -
Hena 300 5000(300) 6000(360) -
Hena 400 6667(400) 8000(480) -
Hena 630 10000(630) 12667(760) -
Hena 1000 16667(1000) 20000(1200) DN 160 ISO-K 100 -
Hena 1600 26667(1600) 32000(1920) 70 -
Uno Line Plus / シングルステージ (1段式)
  • 排気速度 → 250, 500(m³/h)
  • オイルミストフィルター標準搭載
  • コンパクト&パワフル設計
  • 水蒸気に対する優れた排気特性
  • 適切な冷却水温調整
Uno Line Plus シングルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
BA 251 4167(250) DN 63 ISO-F DN 63 ISO-K <6.0 -
BA 501 8333(500) DN 100 ISO-F DN 100 ISO-K -
Pascal / ダブルステージ(2段式)
ダブルステージ

SDシリーズ:標準ポンプ

  • 大気/希ガス用、粗引きポンプ用途

I シリーズ:研究開発や分析機器用途

  • 質量分析計、電子顕微鏡 などの粗引き用途
Pascal ダブルステージ 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:60Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
2005 90(5.4) 108(6.5) 25ISO-KF 25ISO-KF 1×10-1 -
2010 162(9.7) 193(11.6) -
2015 250(15) 300(18) -
2021 345(20.7) 413(24.8) -
2033 500(30) 660(39.6) 40ISO-KF 40ISO-KF 2.2×10-1 -
2063 1000(60) 1201(72) -

*上記製品のオイルはファイファー社製(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

ダブルステージ(C1シリーズ)

C1:腐食性用途

  • 研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途
Pascal ダブルステージ(C1シリーズ) 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
2005C1 90(5.4) 108(6.5) 25ISO-KF 25ISO-KF 1.5×10-1 耐腐食
2010C1 162(9.7) 193(11.6) 耐腐食
2015C1 250(15) 300(18) 耐腐食
2021C1 345(20.7) 413(24.8) 耐腐食
2033C1 500(30) 660(39.6) 40ISO-KF 40ISO-KF 2.2×10-1 耐腐食
2063C1 1000(60) 1201(72) 耐腐食

*上記製品のオイルはファイファー社製(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

ダブルステージ(C2シリーズ)

C2:腐食性用途

  • イオン注入、スパッタリング装置などの用途
Pascal ダブルステージ(C2シリーズ) 製品仕様
機種 排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
排気速度
l/min(m³/h)
:50Hz
吸気口径 排気口径 到達真空度
(Pa)
耐腐食性
機種
2010C2 162(9.7) 193(11.6) 25ISO-KF 25ISO-KF 1.5×10-1 耐腐食
2015C2 250(15) 300(18) 耐腐食
2021C2 345(20.7) 413(24.8) 耐腐食
2033C2 500(30) 660(39.6) 40ISO-KF 40ISO-KF 2.2×10-1 耐腐食
2063C2 1000(60) 1201(72) 耐腐食

*上記製品のオイルはファイファー社製(アディクセンブランド)の鉱物油使用を推奨しています。

真空ポンプおよび各種製品一覧

真空ポンプを利用した応用装置の製作も行います。応用装置の一例をこちらに掲載しております。