リークディテクター
ファイファーバキューム社製リークディテクターの特徴
  • フィールドサービスに最適 → 軽量でポータブルな設計 21kgがラインナップ
  • SDカード内蔵 → データの保存・移行が簡単
  • 日本語ガイダンス機能
  • ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
MiniTest300 - ポータブルモデル
  • クオーツウィンドウセンサー採用のリークディテクタ
  • 軽量、コンパクト　重量5kg
  • 20,000Paからリークテスト可能
  • リモコンによる簡単操作。最大で100m離れた場所からワイヤレス操作可能(オプション）
  • 真空炉、ランプ製造、プラント工場など産業用途
MiniTest300 - ポータブルモデル 製品仕様
項目 単位 MiniTest300
テストポートフランジ   DN25KF(NW25)
最大テストポート圧力 Pa 20,000
最小検知可能リークレート Pa・m³/s 5.0×10-8
重量 kg 5
ASM310 - ポータブルモデル
  • フィールドサービスに最適 → 軽量でポータブルな設計　21kg
  • SDカード内蔵 → データの保存・移行が簡単
  • 日本語ガイダンス機能
  • 取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • 真空法/スニファー法　両モードに対応（ボタン操作で簡単切替）
  • 粗引きポンプ　ドライポンプ内蔵（約30L/min）
  • 世界中で使用可能 → ユニバーサル電圧対応　90～240V（単相）
ASM310 - ポータブルモデル 製品仕様
項目 単位 ASM310
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN25KF(NW25)
最大テストポート圧力 Pa 1,500
ヘリウム排気速度 l/s 1.1
粗引きポンプ排気速度 m/h 1.7
最小検知可能リークレート (真空法) Pa・m³/s 5×10-13
最小検知可能リークレート (スニファー法) Pa・m3/s 1×10-8
測定可能ガス   4He, 3He, H2
重量 kg 21
対応言語   9ヶ国（日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など）
ASM340 - 多目的モデル
  • クラス最短のテスト開始時間を実現　→　15m³/h粗引きポンプ内蔵 ※1
  • テスト開始時間の短縮　→　テスト開始可能ポート圧力　2,500Pa
  • 日本語ガイダンス機能
  • 取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • 真空法/スニファー法　両モードに対応　→ボタン操作で簡単切替
  • SDカード内蔵　→　データの保存・移行が簡単
  • ワイヤレスリモコンにより最大で100m離れた場所から操作可能(オプション）
  • 粗引きポンプ非搭載型　ASM340I　→　粗引きポンプの選択が可能
※1 ASM340（粗引きポンプ：油回転ポンプ）の場合
ASM340 - 多目的モデル 製品仕様
項目 単位 ASM340 ASM340D ASM340I
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN25KF(NW25)
最大テストポート圧力 Pa 2,500
ヘリウム排気速度 l/s 2.5
粗引きポンプ排気速度 m3/h 15（油回転ポンプ） 3.4（ドライポンプ） -
最小検知可能リークレート (真空法) Pa・m3/s 5×10-13
最小検知可能リークレート (スニファー法) Pa・m3/s 5×10-10
測定可能ガス   4He, 3He, H2
重量 kg 56 45 32
対応言語   9ヶ国（日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など）
ASM380 - 高性能可搬型モデル
  • 高速リカバリータイム → ヘリウム排気速度　7 l/s
  • 粗引きポンプ　多段ルーツ型ドライポンプ　35m³/h内蔵
    →　大型チャンバーに対して真空引き時間の短縮を実現
    →　パーティクルフリー
    →　ロングメンテナンスサイクル
  • 日本語ガイダンス機能
  • 10種類を超えるイオンソース・イオンレンズを選択可能
  • 取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • 真空法/スニファー法　両モードに対応 → ボタン操作で簡単切替
  • SDカード内蔵 → データの保存・移行が簡単
ASM380 - 高性能可搬型モデル 製品仕様
項目 単位 ASM380
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN40KF(NW40)
最大テストポート圧力 Pa 1,500
ヘリウム排気速度 l/s 7
粗引きポンプ排気速度 m3/h 35
最小検知可能リークレート (真空法) Pa・m3/s 5×10-13
最小検知可能リークレート (スニファー法) Pa・m3/s 1×10-8
測定可能ガス   4He, 3He, H2
重量 kg 110
対応言語   9ヶ国（日本語、中国語、韓国語、英語、スペイン語など）
ASM182T - 高性能コンパクト
  • 高速リカバリータイムを実現 → ヘリウム排気速度　4.4 l/s
  • 粗引きポンプ　多段ルーツ型ドライポンプ　25m³/h内蔵　※1
    →　大型チャンバーに対して真空引き時間の短縮を実現
    →　パーティクルフリー
    →　ロングメンテナンスサイクル
  • 日本語ガイダンス機能
  • 取り外し可能な大画面カラータッチディスプレイ
  • 真空法/スニファー法　両モードに対応　→ボタン操作で簡単切替
  • SDカード内蔵　→　データの保存・移行が簡単
※1　ASM182TD+の場合
ASM182T - 高性能コンパクト 製品仕様
項目 単位 ASM182T ASM182TD+
測定方法   真空法, スニファー法
テストポートフランジ   DN40KF(NW40)
最大テストポート圧力 Pa 600
ヘリウム排気速度 l/s 4.4
粗引きポンプ排気速度 m3/h 20(油回転ポンプ) 25(ドライポンプ)
最小検知可能リークレート
(真空法)		 Pa・m3/s 5×10-13
最小検知可能リークレート
(スニファー法)		 Pa・m3/s 1×10-8
測定可能ガス   4He
重量 kg 76 88
真空ポンプおよび各種製品一覧

真空ポンプを利用した応用装置の製作も行います。応用装置の一例をこちらに掲載しております。