真空計（キャパシタンスゲージ ）・質量分析計
真空計（キャパシタンスゲージ ）
ファイファーバキューム社製真空計の特徴
  • 豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能
  • ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
アクティブライン
  • エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
  • ノイズに強い多機能アナログ出力 → 測定信号、エラー信号など判別可能
  • ゲージコネクター形状の統一 → 複数コントローラー不要
  • ゲージ自動認識 (プラグアンドプレイ) → 複数 (最大6ch) のゲージを1台のコントローラーに接続可能
アクティブライン 製品仕様
A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域 (Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
APR250 ピエゾゲージ 16KF (NW16) 1.1×105 10 3
APR260
16CF (ICF34)
APR262 G1/4" 2.2×105 20 6
APR265 5.5×105 50 15
APR266 1.1×106 100 30
APR267 5.5×106 500 150
CMR361 セラミックス
キャパシタンス
ゲージ		 16KF (NW16)
16CF (ICF34)
1/2" チューブ
Cajon 8 VCR		 1.1×105 10 3
CMR362 1.1×104 1 2
CMR363 1.1×103 1.0×10-1
CMR364 110 1.0×10-2
CMR365 11 1.0×10-3 1.3
CMR371 セラミックス
キャパシタンス
ゲージ
温度 (45°C補正)		 1.1×105 10 3
CMR372 1.1×104 1 2
CMR373 1.1×103 1.0×10-1
CMR374 110 1.0×10-2
CMR375 11 1.0×10-3

B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(Pa)
上限 下限
TPR280 ピラニゲージ 16KF (NW16)
16F (ICF34)		 1.0×105 5.0×10-2 1×106
TPR281 耐腐食性
ピラニゲージ
TPR270 ピラニゲージ 16KF (NW16)
16F (ICF34)		 1.0×105 1.0×10-2 1×106
TPR271 耐腐食性
ピラニゲージ		 5.0×10-2
PCR280 ピラニ &
キャパシタンス
コンビネーション
ゲージ		 16KF (NW16)
16CF (ICF34)		 1.5×105 5.0×10-3 1×106
IKR360 コールドカソード
ゲージ		 25KF (NW25)
40KF (NW40)
40CF (ICF70)		 1 1.0×10-7
 1.0×106
IKR361
IKR270 5.0×10-9
PKR360 ピラニ &
コールドカソード
コンビネーション
ゲージ		 25KF (NW25)
40KF (NW40)
40CF (ICF70)		 1.0×105 1.0×10-7
 1×106
PKR361
IMR265 プロセスイオン
ゲージ		 16KF (NW16)
25KF (NW25)
40KF (NW40)
16CF (ICF34)
40CF (ICF70)		 1.0×105 2.0×10-4 5×106
PBR260 ピラニ &
ホットカソード
コンビネーション
ゲージ		 25KF (NW25)
40KF (NW40)
40CF (ICF70)		 1.0×105 5.0×10-8
 2×106

アクティブライン用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度
表示形式
TPG261 シングルゲージ
コントローラー		 1 2 -
TPG262 デュアルゲージ
コントローラー		 2 4 同時表示可
TPG256 マキシゲージ
コントローラー		 6 6
*1		 6ch 同時可能

*1: IMR265 / PBR260 に関しては、最大 3 個まで接続可能

デジライン
  • エレクトロニクス内蔵 → 専用コントローラー不要、省スペース
  • 2種類のフィールドバスコンバーター (Profibusコンバーター、DeviceNetコンバーター) → システムコントラローラーで制御可能
  • RS485 ケーブルでゲージ間シリアル接続可能 → 省ケーブル
  • PC、PLC へのデータ転送可能なコントローラー → データ管理が容易で、コンパクト
デジライン 製品仕様
A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
CPT200 ピエゾゲージ 16KF (NW16)
G1/4"		 2.0×105 100 4

B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
PPT200 ピラニゲージ 16KF (NW16)
16CF (ICF34)		 1.0×105 1.0×10-2 4
RPT200 ピエゾ&ピラニ
コンビネーション
ゲージ		 16KF (NW16)
16CF (ICF34)		 1.2×105
HPT200 ピラニ&
ホットカソード
コンビネーション
ゲージ		 40KF (NW40)
40CF (ICF70)		 1.0×105 5.0×10-7
*1
MPT200 ピラニ&
コールドカソード
コンビネーション
ゲージ		 25KF(NW40)
40KF(NW40)
40CF (ICF70)		 1.0×105 5.0×10-8
*1

*1: フランジによる

デジライン用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度
表示形式
DPG202 - 2 2 -
モジュールライン
  • 多様なニーズにお応えできるラインナップ
  • 超高真空仕様、耐腐食性仕様、耐放射線仕様
  • 加速器、放射光関係などの研究機関への納入実績多
モジュールライン 製品仕様
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域 (Pa) 対放射線
(Gy)
上限 下限
TPR010 ピラニゲージ 10KF (NW10) 1.0×105 8.0×10-2 -
TPR017 耐腐食性&
耐放射線
ピラニゲージ		 16KF (NW16)
16CF (ICF34)		 1.0×104
TPR018 超高真空&
耐放射線
ピラニゲージ		 16KF (NW16)
16CF (ICF34)
40CF (ICF70)
IKR050
(内部バイトン
シール)		 コールドカソード
ゲージ		 25KF (NW25)
*1
40KF (NW40)
40CF (ICF70)		 5.0×10-1 2.0×10-7 -
IKR060
(内部メタルシール)		 超高真空 &
耐放射線
コールドカソード
ゲージ		 1.0×10-8 1.0×107
IKR070
(内部メタルシール)		 1.0×10-9

*1: IKR050 のみ 25KF (NW25) 対応
*2: 要対応ボード、ケーブル

TPG300シリーズ用共通コントローラー
型式 名称 接続可能数 リレー個数 真空度
表示形式
TPG300 - 4 5 *1 切換
その他 : ハンディピラニゲージ
  • 専用コントローラー不要、省スペース
  • データロガー機能
  • 駆動電源は乾電池9V型、またはACアダプター（オプション）
  • 持ち運びに便利。フィールドサービス用途に◎。
  • 大気圧近辺で高精度で測定が可能（TPG202のみ）
  • 1000Pa以上はガス種に依存しない測定が可能（TPG202のみ）
ハンディピラニゲージ 製品仕様
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式
型式 名称 フランジ 測定領域(Pa) 最大許容圧力
(bar)
上限 下限
TPG201 ピラニゲージ 16KF (NW16) 1.0×105 5.0×10-2 4
TPG202 ピエゾピラニゲージ 16KF (NW16) 1.2×105 5.0×10-2 2
質量分析計
ファイファーバキューム社製四重極型質量分析計の特徴
  • 分析管＆コントローラー一体型（省スペース）
  • モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合）
  • 最速2msの高速測定
  • ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
PrismaPlus QMG220 / 四重極質量分析計
  • 分析管＆コントローラー一体型（省スペース）
  • モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
  • 一つの測定ファイルで 128 チャンネルを割り当て可能
  • 8桁以上の大きなダイナミックレンジ
  • 最速2msの高速測定
PrismaPlus QMG220 / 四重極質量分析計 製品仕様
QMG220 F1 M1 F2 M2 F3 M3
マスレンジ 1-100 1-100 1-200 1-200 1-300 1-300
ディテクタ ファラデー
- チャンネル
トロン		 - チャンネル
トロン		 - チャンネル
トロン
検出限界(Pa)*
ファラデー /
チャンネルトロン		 4×10-11 - 5×10-11 - 7×10-11 -
- 3×10-13 - 4×10-13 - 5×10-13
感度：Ar(A/Pa)*
ファラデー		 5×10-6 5×10-6 4×10-6 4×10-6 3×10-6 3×10-6
分析管ベーキング温度最大300℃
（動作時最大200℃、SEM使用時最大150℃）
許容
最大圧力(Pa)
ファラデー /
チャンネル
トロン		 5×10-2
- 5×10-3 - 5×10-3 - 5×10-3
隣接ピーク
寄与率
Mass40/41
(ppm)		 < 10 < 10 < 20 < 20 < 50 < 50

*仕様はオープン型イオンソース選択時

OmniStar & ThermoStar GSD320 / ベンチトップガスモニター
  • 2段減圧方式により高速レスポンス・マスディスクリミネーションを防止
  • 最大200℃、オプションで350℃ での温度制御ヒータ付きキャピラリ付属
  • ガスタイト型イオン源の採用により少量の導入ガスを効率良くイオン化
  • 100%酸素導入も可能
  • マトリクス濃度計算による定量分析
  • 温度等外部信号の取り込み
  • スレッシュホールド機能により外部機器を制御
OmniStar & ThermoStar GSD320 / ベンチトップガスモニター 製品仕様
機種 OmniStar ThermoStar
測定質量数 100
200
300
キャピラリ材質 ステンレス 石英
ガス導入 バルブ制御可能 連続導入
(メモリ効果防止)
ガス流量(sccm) 1〜2
Sputter Process Monitor SPM220 / プロセスモニター
  • プロセスコントロール用差動排気型質量分析計
  • プロセスガスの純度・不純物の測定
  • プロセス圧力でイオン化する独自構造のSPMイオンソースにより、分析チャンバー内の水分等残留ガスによる影響を徹底的に排除
  • プロセス室の変化に高速応答
  • 40eVのイオン化電圧により二価イオンを抑制
Sputter Process Monitor SPM220 / プロセスモニター 製品仕様
質量分析範囲 1～100amu、1～200amu 最小検知感度
(Ar中,1～100amu型)		 CO2： 100ppb以下
対応プロセス圧力 1Pa以下(標準) 水素： 3,000ppb以下
検出器 C-SEM/Faraday 窒素： 100ppb以下
接続フランジ DN40CF-F(ICF70CF) 酸素： 100ppb以下
測定チャンネル数 128ch（MID時系列モード） H2O： 500ppb以下
測定速度 アナログ・バーグラフ：20ms/amu(Min.) 動作電圧 単相100V/200V、50/60Hz
ステア・MID（Dwell)：2ms(Min.) 重量 13kg(本体＋ダーボ分子ポンプ）
ターボ分子ポンプ HiPace80 with TC110RS (4 acc. ports) インターフェース イーサネット
粗引きポンプ MVP020-3（メンブレン） 対応OS Windows 7Pro,8.1(32,64bit),10(32,64bit)
HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計
  • 多用途高性能四重極質量分析計
  • モジュラー構成により多彩なアプリケーションに適合
  • 1～16,128,300,340,512,1024,2048amuの測定レンジ
  • 10種類を超えるイオンソース・イオンレンズを選択可能
  • 高感度・低ノイズ・最大10桁のダイナミックレンジを実現
  • 耐放射線型・水素脱ガス（アニール）型(QMA125分析管のみ)
HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計 製品仕様
高分解能測定型 高質量測定型
質量分析範囲 1～128 1～300,512
最大測定圧力 1・10-3Pa(SEM)/1・10-2Pa(Faraday)
検出器 ディスクリートSEM（コンバージョンダイノード型オプション）/Faraday
Qポール 16㎜径,300㎜長,モリブデン 8㎜径,200㎜長,モリブデン（300amuのみSUS）
分解能 ＞M/ΔM＝600 (m/z=4, 16amuタイプ) ＞M/ΔM＝ 2
最小検出限界 5・10-14Pa (128amuタイプ) 1・10-13Pa (512amuタイプ)
最小検出限界(分圧) 0.3ppb (128amuタイプ) 0.5ppb (512amuタイプ)
測定チャンネル数 128ch
最小測定速度 アナログ・バーグラフ： 20ms/amu(Min.)
ステア・MID： 125μs/amu(Min.)
測定動作温度 最大150℃
ベーキング温度 動作時最大180℃ / 分析管単体最大400℃ （注意・諸条件有）
動作電圧 単相100V/200V、50/60Hz
対応OS Windows7 Professional, 8.1(32,64bit), 10(32,64bit)
真空ポンプおよび各種製品一覧

真空ポンプを利用した応用装置の製作も行います。応用装置の一例をこちらに掲載しております。