ターボ分子ポンプ・ターボ分子ポンプ排気システム
ターボ分子ポンプ

HiPace シリーズはターボ分子ポンプの世界最高品質です。ケミカル型も在り、排気する気体に合わせて設定が可能で、設定方向が自在です。また、磁気浮上型の「HiPace M型」もありラインナップが揃っています。水素やヘリウムに対して特に高圧縮比を用いた「HiPace H型」モデルも在ります。

軸受型（セラミックボールベアリング）
  • 複合型ターボ分子ポンプ
  • 業界トップクラスの排気速度、圧縮比、許容ガス流量
  • 取り付け姿勢自由
  • 各種規格に対応：RoHS、CE、UL(1部)、Semi
  • 防塵、防水規格IP54適合
軸受型 製品仕様
標準仕様
機種 ドライブ
回路		 口径 排気速度
N2(l/s)		 排気速度
H2(l/s)		 到達真空度
(Pa)		 圧縮比
N2		 圧縮比H2 最大
許容背圧
(Pa)		 取付姿勢
HiPace
10		 TC110 25KF/
NW25		 10 3.7 5.0×10-3
*1		 3.0×106 3.0×102 2500 自在
HiPace30 40KF/
NW40		 22 19 <1.0×10-5　*1 >1.0×1011 3×105 2400
63ISO-K 32 20
63CF/
ICF114		 32 20 <5.0×10-8　*2,*3
HiPace
80		 40KF/
NW40		 35 38 <1.0×10-5
*1		 1.4×105 2200
63ISO-K 67 48 <5.0×10-8
63CF/
ICF114
HiPace300H *4 100ISO-K
100CF/
ICF152
100ISO-F		 260 220 100ISO-K, 100ISO-F
160ISO-K, 160ISO-F
<1.0×10-5 *2, *3

100CF/ICF152
160CF/ICF203
<5.0×10-8 *2, *3		 >1.0×10-13 1.0×107 3000
HiPace300 >1.0×1011 9.0×105 1500
HiPace
400		 TC400 4.0×105 2000
370 460 1400
HiPace
700		 160ISO-K
160CF/
ICF203
160ISO-F		 685 555
HiPace
1200		 TC1200 200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F		 1250 1100 200ISO-K, 200ISO-F
250ISO-K, 250ISO-F
<1.0×10-5 *2, *3

200CF/ICF253
250CF/ICF303
<5.0×10-8 *2, *3 		1.0×108 6.0×103 200 水平
or
逆水平
HiPace
1500		 250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F		 1400 1150
HiPace
1800		 200ISO-K
200ISO-F		 1450 1700 2.0×104 180
HiPace
2300		 250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F		 1900 1850

*1: ベーキングなし
*2: チャンバー 48 時間ベーキング後 (メタルシール使用 / 背圧 < 5pa) / DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨
*4: HiPace300Hは、高圧縮比モデル

耐腐食性仕様
機種 ドライブ
回路		 口径 排気速度
N2(l/s)		 排気速度
H2(l/s)		 到達真空度
(Pa)		 圧縮比
N2		 圧縮比H2 最大
許容背圧
(Pa)		 取付姿勢
HiPace
300C		 TC400 100ISO-K
100CF/
ICF152
100ISO-F		 245 125 <1.0×10-5 1.0×106 3.0×102 100 水平
or
逆水平
Hipace
1200C		 TC1200 200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F		 1250 1100 <1.0×10-5 >1.0×108 6.0×103 200
HiPace
1500C		 250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F		 1450 1150
HiPace
1800C		 200ISO-K
200CF/
ICF253
200ISO-F		 1450 1700 2.0×104 180
HiPace
2300C		 250ISO-K
250CF/
ICF303
250ISO-F		 1900 1850

水冷仕様推奨

磁気浮上型
  • 五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ
  • メンテナンスフリー、オイルフリー
  • 取付け方向自由、低振動、低ノイズ
  • 業界トップクラスの圧縮比
磁気浮上型 製品仕様
機種 ドライブ回路 口径 排気速度
N2(1/s)		 到達真空度
(Pa)		 圧縮比
N2		 圧縮比
H2		 最大
排気圧力
(Pa)		 取付姿勢
HiPace
300M		 TC700 100ISO-K 255 ＜5×10-8 1×1011 5×105 2000 自在
100CF/
ICF152
100ISO-F
HIPace
700M		 TC700 160ISO-K 685 1×1011 2×105 800 自在
160CF/
ICF203
160ISO-F
HiPace
800M		 TC700 200ISO-K 790 1×1011 2×105 800 自在
200CF/
ICF253
200ISO-F
＜共通＞大排気量用途
ATH-Mシリーズは半導体、FPD、コーティング、太陽電池製造装置、その他産業向け大排気量用磁気浮上型ポンプです。
大排気量用途 製品仕様
機種 口径 排気速度
N2(l/s)		 到達真空度
(Pa)		 圧縮比
N2		 圧縮比
N2		 最大ガス
流量
N2(sccm)*		 最大
排気圧力
(Pa)		 取付姿勢
ATH500M DN100 350 ＜1×10-6 2×107 2×102 4000 260 自在
DN160 550
ATH500MT DN100 350
DN160 550
ATH1603M DN200 1360 ＜6×10-7 ＞1×108 5×102 4000 170
DN250 1400
ATH
1600MT		 DN200 1360 220
DN250 1400
ATH2303M DN250 2150 ＜6×10-7 ＞1×108 ＞1×103 4000 290
ATH
2300MT		 DN200 1550 ＞2×103 280
DN250 2150
ATH2804M DN250 2350 ＜6×10-6 ＞1×109 4.9×103 ＞5000 340
ATH
2804MT		 2800 300
ATH
3204M		 DN320 3050 ＜6×10-6 ＞1×109 4.9×103 ＞5000 340
ATH
3204MT		 2800 300

*最大ガス流量　M：ポンプ常温時(水冷 25℃)、MT：ポンプ65℃(水冷 25℃)
*環境温度、水量、水温など外部状況による

軽ガス排気用途
業界トップクラスの圧縮比
軽ガス排気用途 製品仕様
機種 口径 排気速度
N2(l/s)		 到達真空度
(Pa)		 圧縮比
N2		 圧縮比
H2		 最大ガス
流量
N2(sccm)*		 最大
排気圧力
(Pa)		 取付姿勢
ATP2300M DN250 1950 ＜6×10-7 ＞1×108 ＞7×1003 2200 210 自在

*環境温度、水量、水温など外部状況による

ターボ分子ポンプ排気システム
ファイファーバキューム社製ターボ分子ポンプ排気システムの特徴
  • 大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績
  • 業界トップレベルの基本性能 → 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
  • ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
  • 付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社製真空計モニタリング可能
  • アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) → 面倒な配線作業などが不要
  • ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
  • ユニットからターボ分子ポンプの切り離しが可能（オプション） ⇒ 真空引き時間の短縮
ハイキューブ エコ
  • 卓上設置可能なコンパクト設計
  • 持ち運び可能な軽量設計
  • ワンタッチで高真空まで排気可能
  • 真空計(アクティブライン)の接続、表示可能
    *真空計の表示部を測定子のみで独立なくとも表示が可能/単位(hPa)
ハイキューブ エコ 製品仕様
機種 Hi Cube 80 Eco
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40ISO-KF
(NW40)		 63ISO-K 63CF
(ICF114)
排気速度 N2 l/s 35 67
到達圧 Pa <1.0×10-5 *1 < 1.0×10-6 *2 *3
ダイアフラム
ポンプ		 MVP015-2 l/min 15

*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

ハイキューブ クラシック
  • 自動ベントバルブ標準装備
  • キャスター付仕様 → 移動が簡単
  • ターボ分子ポンプ & 粗排気ポンプ (油回転ポンプ or ダイアフラムポンプ)を、自由に組合せ可能
  • フォアバキュームバルブ追加可能
ハイキューブ クラシック 製品仕様
機種 HiCube™ 80 classic HiCube™ 300 classic HiCube™ 400 classic HiCube™ 700 classic
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40
ISO-KF
(NW40)		 63
ISO-K		 63CF
(ICF114)		 100
ISO-K		 100CF
(ICF152)		 100
ISO-K		 100CF
(ICF152)		 160
ISO-K		 160CF
(ICF203)
排気速度 N2 l/s 35 67 260 355 685
到達圧 油回転
ポンプ		 Pa < 1.0×10-5 *1 < 5.0×10-8 *2 *3
ダイア
フラム
ポンプ		 < 1.0×10-6 *2 *3
ダイアフラム
ポンプ		 MVP
015-2		 l/min 15 -
MVP
040-2		 38 -
MVP
070-3		 63
油回転
ポンプ		 DUO 2,5 l/min 42
DUO 5M 84

*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

ハイキューブ プロ
  • 自動ベントバルブをオプション追加可能
  • キャスター標準装備
  • ターボ分子ポンプ & 粗排気ポンプ (油回転ポンプ or 多段ルーツ型ドライポンプ)を、自由に組合せ可能
  • フォアバキュームバルブ追加可能
ハイキューブ プロ 製品仕様
機種 HiCube™ 80 Pro HiCube™ 300 Pro HiCube™ 400 Pro HiCube™ 700 Pro
ターボ分子ポンプ吸気口 DN 40
ISO-KF
(NW40)		 63
ISO-K		 63CF
(ICF114)		 100
ISO-K		 100CF
(ICF152)		 100
ISO-K		 100CF
(ICF152)		 160
ISO-K		 160CF
(ICF203)
排気速度 N2 l/s 35 67 260 355 685
到達圧 油回転
ポンプ		 Pa < 1.0×10-5 *1 < 5.0×10-8 *2 *3
ドライ
ポンプ		 < 1.0×10-6 *2 *3
油回転
ポンプ		 Penta
20		 l/min 367
Penta
35		 567
ドライ
ポンプ		 ACP
15		 233
ACP
28		 450

*1: ベーキングなし (バイトンシール)
*2: 48時間ベーキング後(メタルシール使用)/DIN28428
*3: ベーキング時は、水冷仕様推奨

真空ポンプおよび各種製品一覧

真空ポンプを利用した応用装置の製作も行います。応用装置の一例をこちらに掲載しております。