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真空計(キャパシタンスゲージ )・質量分析計
真空計(キャパシタンスゲージ )
ファイファーバキューム社製真空計の特徴
アクティブライン
アクティブライン 製品仕様
A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式 | |||||
型式 | 名称 | フランジ | 測定領域 (Pa) | 最大許容圧力 (bar) |
|
上限 | 下限 | ||||
APR250 | ピエゾゲージ | 16KF (NW16) | 1.1×105 | 10 | 3 |
APR260 | |||||
16CF (ICF34) | |||||
APR262 | G1/4" | 2.2×105 | 20 | 6 | |
APR265 | 5.5×105 | 50 | 15 | ||
APR266 | 1.1×106 | 100 | 30 | ||
APR267 | 5.5×106 | 500 | 150 | ||
CMR361 | セラミックス キャパシタンス ゲージ |
16KF (NW16) 16CF (ICF34) 1/2" チューブ Cajon 8 VCR |
1.1×105 | 10 | 3 |
CMR362 | 1.1×104 | 1 | 2 | ||
CMR363 | 1.1×103 | 1.0×10-1 | |||
CMR364 | 110 | 1.0×10-2 | |||
CMR365 | 11 | 1.0×10-3 | 1.3 | ||
CMR371 | セラミックス キャパシタンス ゲージ 温度 (45°C補正) |
1.1×105 | 10 | 3 | |
CMR372 | 1.1×104 | 1 | 2 | ||
CMR373 | 1.1×103 | 1.0×10-1 | |||
CMR374 | 110 | 1.0×10-2 | |||
CMR375 | 11 | 1.0×10-3 |
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 | |||||
型式 | 名称 | フランジ | 測定領域(Pa) | 最大許容圧力 (Pa) |
|
上限 | 下限 | ||||
TPR280 | ピラニゲージ | 16KF (NW16) 16F (ICF34) |
1.0×105 | 5.0×10-2 | 1×106 |
TPR281 | 耐腐食性 ピラニゲージ |
||||
TPR270 | ピラニゲージ | 16KF (NW16) 16F (ICF34) |
1.0×105 | 1.0×10-2 | 1×106 |
TPR271 | 耐腐食性 ピラニゲージ |
5.0×10-2 | |||
PCR280 | ピラニ & キャパシタンス コンビネーション ゲージ |
16KF (NW16) 16CF (ICF34) |
1.5×105 | 5.0×10-3 | 1×106 |
IKR360 | コールドカソード ゲージ |
25KF (NW25) 40KF (NW40) 40CF (ICF70) |
1 | 1.0×10-7 |
1.0×106 |
IKR361 | |||||
IKR270 | 5.0×10-9 |
||||
PKR360 | ピラニ & コールドカソード コンビネーション ゲージ |
25KF (NW25) 40KF (NW40) 40CF (ICF70) |
1.0×105 | 1.0×10-7 |
1×106 |
PKR361 | |||||
IMR265 | プロセスイオン ゲージ |
16KF (NW16) 25KF (NW25) 40KF (NW40) 16CF (ICF34) 40CF (ICF70) |
1.0×105 | 2.0×10-4 | 5×106 |
PBR260 | ピラニ & ホットカソード コンビネーション ゲージ |
25KF (NW25) 40KF (NW40) 40CF (ICF70) |
1.0×105 | 5.0×10-8 |
2×106 |
アクティブライン用共通コントローラー | ||||
型式 | 名称 | 接続可能数 | リレー個数 | 真空度 表示形式 |
TPG261 | シングルゲージ コントローラー |
1 | 2 | - |
TPG262 | デュアルゲージ コントローラー |
2 | 4 | 同時表示可 |
TPG256 | マキシゲージ コントローラー |
6 | 6 *1 |
6ch 同時可能 |
*1: IMR265 / PBR260 に関しては、最大 3 個まで接続可能
デジライン
デジライン 製品仕様
A: ガス種に依存しない、力学的な計測方式 | |||||
型式 | 名称 | フランジ | 測定領域(Pa) | 最大許容圧力 (bar) |
|
上限 | 下限 | ||||
CPT200 | ピエゾゲージ | 16KF (NW16) G1/4" |
2.0×105 | 100 | 4 |
B:ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 | |||||
型式 | 名称 | フランジ | 測定領域(Pa) | 最大許容圧力 (bar) |
|
上限 | 下限 | ||||
PPT200 | ピラニゲージ | 16KF (NW16) 16CF (ICF34) |
1.0×105 | 1.0×10-2 | 4 |
RPT200 | ピエゾ&ピラニ コンビネーション ゲージ |
16KF (NW16) 16CF (ICF34) |
1.2×105 | ||
HPT200 | ピラニ& ホットカソード コンビネーション ゲージ |
40KF (NW40) 40CF (ICF70) |
1.0×105 | 5.0×10-7 *1 |
|
MPT200 | ピラニ& コールドカソード コンビネーション ゲージ |
25KF(NW40) 40KF(NW40) 40CF (ICF70) |
1.0×105 | 5.0×10-8 *1 |
*1: フランジによる
デジライン用共通コントローラー | ||||
型式 | 名称 | 接続可能数 | リレー個数 | 真空度 表示形式 |
DPG202 | - | 2 | 2 | - |
モジュールライン
モジュールライン 製品仕様
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 | |||||
型式 | 名称 | フランジ | 測定領域 (Pa) | 対放射線 (Gy) |
|
上限 | 下限 | ||||
TPR010 | ピラニゲージ | 10KF (NW10) | 1.0×105 | 8.0×10-2 | - |
TPR017 | 耐腐食性& 耐放射線 ピラニゲージ |
16KF (NW16) 16CF (ICF34) |
1.0×104 | ||
TPR018 | 超高真空& 耐放射線 ピラニゲージ |
16KF (NW16) 16CF (ICF34) 40CF (ICF70) |
|||
IKR050 (内部バイトン シール) |
コールドカソード ゲージ |
25KF (NW25) *1 40KF (NW40) 40CF (ICF70) |
5.0×10-1 | 2.0×10-7 | - |
IKR060 (内部メタルシール) |
超高真空 & 耐放射線 コールドカソード ゲージ |
1.0×10-8 | 1.0×107 | ||
IKR070 (内部メタルシール) |
1.0×10-9 |
*1: IKR050 のみ 25KF (NW25) 対応
*2: 要対応ボード、ケーブル
TPG300シリーズ用共通コントローラー | ||||
型式 | 名称 | 接続可能数 | リレー個数 | 真空度 表示形式 |
TPG300 | - | 4 | 5 *1 | 切換 |
その他 : ハンディピラニゲージ
ハンディピラニゲージ 製品仕様
B: ガス種に依存する、気体の特性を利用する計測方式 | |||||
型式 | 名称 | フランジ | 測定領域(Pa) | 最大許容圧力 (bar) |
|
上限 | 下限 | ||||
TPG201 | ピラニゲージ | 16KF (NW16) | 1.0×105 | 5.0×10-2 | 4 |
TPG202 | ピエゾピラニゲージ | 16KF (NW16) | 1.2×105 | 5.0×10-2 | 2 |
質量分析計
ファイファーバキューム社製四重極型質量分析計の特徴
PrismaPlus QMG220 / 四重極質量分析計
PrismaPlus QMG220 / 四重極質量分析計 製品仕様
QMG220 | F1 | M1 | F2 | M2 | F3 | M3 |
マスレンジ | 1-100 | 1-100 | 1-200 | 1-200 | 1-300 | 1-300 |
ディテクタ | ファラデー | |||||
- | チャンネル トロン |
- | チャンネル トロン |
- | チャンネル トロン |
|
検出限界(Pa)* ファラデー / チャンネルトロン |
4×10-11 | - | 5×10-11 | - | 7×10-11 | - |
- | 3×10-13 | - | 4×10-13 | - | 5×10-13 | |
感度:Ar(A/Pa)* ファラデー |
5×10-6 | 5×10-6 | 4×10-6 | 4×10-6 | 3×10-6 | 3×10-6 |
分析管ベーキング温度 | 最大300℃ (動作時最大200℃、SEM使用時最大150℃) | |||||
許容 最大圧力(Pa) ファラデー / チャンネル トロン |
5×10-2 | |||||
- | 5×10-3 | - | 5×10-3 | - | 5×10-3 | |
隣接ピーク 寄与率 Mass40/41 (ppm) |
< 10 | < 10 | < 20 | < 20 | < 50 | < 50 |
*仕様はオープン型イオンソース選択時
OmniStar & ThermoStar GSD320 / ベンチトップガスモニター
OmniStar & ThermoStar GSD320 / ベンチトップガスモニター 製品仕様
機種 | OmniStar | ThermoStar |
測定質量数 | 100 | |
200 | ||
300 | ||
キャピラリ材質 | ステンレス | 石英 |
ガス導入 | バルブ制御可能 | 連続導入 (メモリ効果防止) |
ガス流量(sccm) | 1〜2 |
Sputter Process Monitor SPM220 / プロセスモニター
Sputter Process Monitor SPM220 / プロセスモニター 製品仕様
質量分析範囲 | 1~100amu、1~200amu | 最小検知感度 (Ar中,1~100amu型) |
CO2: 100ppb以下 |
対応プロセス圧力 | 1Pa以下(標準) | 水素: 3,000ppb以下 | |
検出器 | C-SEM/Faraday | 窒素: 100ppb以下 | |
接続フランジ | DN40CF-F(ICF70CF) | 酸素: 100ppb以下 | |
測定チャンネル数 | 128ch(MID時系列モード) | H2O: 500ppb以下 | |
測定速度 | アナログ・バーグラフ:20ms/amu(Min.) | 動作電圧 | 単相100V/200V、50/60Hz |
ステア・MID(Dwell):2ms(Min.) | 重量 | 13kg(本体+ダーボ分子ポンプ) | |
ターボ分子ポンプ | HiPace80 with TC110RS (4 acc. ports) | インターフェース | イーサネット |
粗引きポンプ | MVP020-3(メンブレン) | 対応OS | Windows 7Pro,8.1(32,64bit),10(32,64bit) |
HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計
HiQuad QMG700 / 高性能質量分析計 製品仕様
高分解能測定型 | 高質量測定型 | |
質量分析範囲 | 1~128 | 1~300,512 |
最大測定圧力 | 1・10-3Pa(SEM)/1・10-2Pa(Faraday) | |
検出器 | ディスクリートSEM(コンバージョンダイノード型オプション)/Faraday | |
Qポール | 16㎜径,300㎜長,モリブデン | 8㎜径,200㎜長,モリブデン(300amuのみSUS) |
分解能 | >M/ΔM=600 (m/z=4, 16amuタイプ) | >M/ΔM= 2 |
最小検出限界 | 5・10-14Pa (128amuタイプ) | 1・10-13Pa (512amuタイプ) |
最小検出限界(分圧) | 0.3ppb (128amuタイプ) | 0.5ppb (512amuタイプ) |
測定チャンネル数 | 128ch | |
最小測定速度 | アナログ・バーグラフ: 20ms/amu(Min.) | |
ステア・MID: 125μs/amu(Min.) | ||
測定動作温度 | 最大150℃ | |
ベーキング温度 | 動作時最大180℃ / 分析管単体最大400℃ (注意・諸条件有) | |
動作電圧 | 単相100V/200V、50/60Hz | |
対応OS | Windows7 Professional, 8.1(32,64bit), 10(32,64bit) |
真空ポンプおよび各種製品一覧
真空ポンプを利用した応用装置の製作も行います。応用装置の一例をこちらに掲載しております。